
更高產(chǎn)能可達到16000pcs/h
可根據(jù)客戶需求選配在線隱裂檢測
特制精密陶瓷吸盤,減少硅片劃傷
技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 技術(shù)參數(shù) | 相關(guān)參數(shù) |
| 產(chǎn)能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 上料方式 | 堆疊料盒 |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 適用花籃 | 100 cassette |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 開機率 | ≥98% |
| 耗氣量 | 1000L/min |
| 具體參數(shù)如有變動,本公司不另行通知! | |